应选择转速较低的规格真空泵的工作压力应该满足真空设备的极限真空及工作压力要求。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级，保证工艺要求的真空度或抽走需要排走的气体。泵的工作点尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。较大规格的泵因为叶轮直径大是以转速较低，所以在达到同样抽气量的前提下，应尽量选择转速较低的泵，大泵消耗的比功率较小，即效率较高。